PlasmaIndex

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あ

• 愛（あい）
  • これがないと装置の調子がおかしくなる。
• アトム窒化（あとむちっか）
  • EBEPで窒化することをこう呼ぶ人がいるらしい。

え

• エイジング（えいじんぐ）
  • フィラメントに付着したゴミを取り除く作業。DEGAS後、ガス流入前に行う。
• EBEP（えべっぷ）
  • Electron Beam Exited Plasmaの略。小型電子ビーム励起プラズマ装置。

か

• カルマ氏（かるまし）
  • 実験中に突如として現れる「壁」のこと。安部公房の『壁 S・カルマ氏の犯罪』（芥川賞受賞）が元ネタ。
• コンベクトロン（こんべくとろん）
  • 調子が悪い。

さ

• 再現性（さいげんせい）
  • 再現性がなくては科学ではない（実験などで）。
• サチる（さちる）
  • 飽和すること。

ち

• チャンバー（ちゃんばー）
  • chamber。弾倉などの意味。EBEPのプラズマが点くところ。

て

• ディスチャージ（でぃすちゃーじ）
  • discharge。放電。
• DEGAS（でがす）
  • ガスを抜く、という意味。「出ガス」ではない。
• TeX（てふ）
  • 数式がきれいに書けるソフト。
• 電離真空計（でんりしんくうけい）
  • EBEPは大体、10^-4台の前半まで行く。DEGAS中に10^-2台半ば。

と

• Torr（とーる）
  • 圧力の単位。1[Torr]=1[mmHg]=133.32[Pa]。

に

• 〇本電子工業（〇ほんでんしこうぎょう）
  • 日本の企業。EBEPのライバルだった？　ラジカル窒化の使い手。

は

• バラトロン（ばらとろん）
  • プラズマが点いたらこちらで圧力を見る。電離真空計とは若干のずれがある。

ふ

• プローブ法（ぷろーぶほう）
  • プラズマ診断法の一つ。プラズマ中にプローブを突っ込んで電圧をかけ、そこに流れ込むイオン電流や電子電流を計測し、最終的に電子温度や電子密度を求めることができる。研究室のプローブは平板で直径が1[mm]。

へ

• 平均自由行程（へいきんじゆうこうてい）
  • mean free path。粒子が一回ぶつかってからもう一回ぶつかるまでの距離の平均。1/nσで表される。nは密度（P/kT）で、σは電離断面積（『放電ハンドブック』などを参照）。

ほ

• ポンプ（ぽんぷ）
  • 200万円也。修理代は50万円也。停電のときなどはまずポンプを守ろう。ゲートを閉めて、電源を切る。

ま

• マスフローコントローラ（ますふろーこんとろーら）
  • mass flow controller。ガスの流量を調節する装置。流量の単位は[sccm]。standard cc/min。