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気が向いたら修正します。一応、完成原稿はてふったので、欲しければ言って下さい。

気体分子が他の分子と一回衝突してから、次に他の分子と衝突するまでの距離を自由行程と言い、その平均を平均自由行程（maen free path）と言う。

Arの平均自由行程を考える。仮にArが剛体（変形しない）球で、その直径をL[m]とする。更に、半径L[m]、円筒の中に密度n[m^-3]、速度v[ms^-1]でArが存在し、t[s]間Arが進んだら衝突すると仮定する。つまり、vt[m]だけArが進むと一回衝突する（要するにvtが自由行程となる）。

とすると、円筒中に存在する分子数Nは

N = n[m^-3] * vt[m] * πL^2[m^2]

で表され、これはすなわち衝突回数であるから、自由行程vtをNで割れば、平均自由行程λが分かる。

λ = vt[m] / N 　= vt /(n * vt * πL^2) 　= 1 /(n * πL^2)

理想気体の状態方程式はPV=nRTである。n/V=P/RTと変形できるが、単位体積中のnを考えているので、Vは1[m^3]である。つまり、n=P/RTとなる。これを上式に代入すると、

λ = RT /(P * πL^2)

を得る。


L	Arの半径[m]	3.62*10^-10

1.INTRODUCTION(1)

2.BASIC PLASMAEQUATION AND EQUILIBRIUM(25)

3.ATOMIC COLLISIONS(45)

4.PLASMA DYNAMICS(85)

5.DIFFUSION AND TRANSPORT(129)

6.DC SHEATHS(154)

7.CHEMICAL REACTIONS AND EQUILIBRIUM(191)

8.MOLECULAR COLLISIONS(217)

9.CHEMICAL KINETIC AND SURFACE PROCESSES(265)

10.PARTICLE AND ENERGY BALANCE IN DISCHARGES(301)

11.CAPACITIVE DISCHARGES(327)

12.INDUCTIVE DISCHARGES(387)

13.WAVE-HEATED DISCHARGES(412)

14.DC DISCHARGES(450)

15.ETCHING(472)

16.DEPOSITION AND IMPLANTATION(512)

A.COLLISIONS DYNAMICS(541)

B.THE COLLISION INTEGRAL AND KINETIC THEORY(547)

C.STCHASTIC HEATING IN AN INDUCTIVE DISCHARGE(555)